制氮設備是采用物理的方法，以空氣為原料將其中的氧和氮分離而獲得氮氣。利用碳分子篩對氧和氮的選擇性吸附而使氮和氧分離的方法，通稱(chēng)PSA制氮。此法是七十年代迅速發(fā)展起來(lái)的一種新的制氮技術(shù)。與傳統制氮法相比，它具有工藝流程簡(jiǎn)單、自動(dòng)化程度高、產(chǎn)氣快、能耗低，產(chǎn)品純度可在較大范圍內根據用戶(hù)需要進(jìn)行調節，操作維護方便、運行成本較低、裝置適應性較強等特點(diǎn)。
在制氮、制氧領(lǐng)域內使用較多的是碳分子篩和沸石分子篩。分子篩對氧和氮的分離作用主要是基于這兩種氣體在分子篩表面的擴散速率不同，碳分子篩是一種兼具活性炭和分子篩某些特性的碳基吸附劑。較小直徑的氣體擴散較快，較多進(jìn)入分子篩固相，這樣氣相中就可以得到氮的富集成分。一段時(shí)間后，分子篩對氧的吸附達到平衡，根據碳分子篩在不同壓力下對吸附氣體的吸附量不同的特性，降低壓力使碳分子篩解除對氧的吸附，這一過(guò)程稱(chēng)為再生。